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半導(dǎo)體 刻蝕工藝 關(guān)鍵零部件 硅部件(Silicon Parts) / 隔熱片 (Gasket)

半導(dǎo)體刻蝕工藝 LAM / TEL / AMEC 設(shè)備里面真空腔體的主要利用零部件。

HTCC高溫?zé)Y(jié)陶瓷

產(chǎn)品在光通信，微波通訊、工業(yè)激光、汽車電子及消費(fèi)類電子等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用

靜電吸盤

通過(guò)靜電吸附作用來(lái)固定晶圓，其優(yōu)點(diǎn)在于吸附作用均勻分布于晶圓表面，晶圓不會(huì)發(fā)生翹曲變形，吸附作用力持續(xù)穩(wěn)定，可以保證晶圓的加工精度；靜電吸盤對(duì)晶圓污染小，對(duì)晶圓無(wú)傷，可以應(yīng)用于高真空環(huán)境中。

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