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產(chǎn)品與解決方案
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產(chǎn)品中心
型號
半導(dǎo)體 / 液晶面板 刻蝕工藝所有零部件(等離子涂層AMAT SYM3, PRODUCER, DPS2 / LAM KIYO HX,FX / TEL VIGUS , DRM, SCCM) ， 半導(dǎo)體 / 液晶面板 所有工藝的所有設(shè)備真空腔體進行精密表面處理。
應(yīng)用方向
等離子涂層材料的改善及優(yōu)化提高芯片制造良率及少損害。
產(chǎn)品特點
利用稀土(釔和氟)等離子涂層，真空腔體里面確保保持穩(wěn)定性，耐熱耐化學(xué)品，耐等離子,減少細(xì)塵。
產(chǎn)品用途
用于刻蝕設(shè)備真空腔體里整個環(huán)境的優(yōu)化，真空腔體的構(gòu)成品的壽命變長，防止被等離子腐蝕零部件。
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